2009 Globalpress电子峰会：MEMS的增长点在哪里

　　就在电子峰会的当天，Kionix向市场推出了最新的KXTF9三轴加速器，整合了Kionix公司单叩击/双叩击(directional Tap/Double-Tap)接口，通过嵌入在KXTF9传感器的ASIC内的算法来实现。该特性最多可以创建12种独特的轻叩命令来实现专用功能。单叩击/双叩击通过检测物体6个面(±X、±Y和±Z)的任何一个面上是发生了单击，还是双击来实现响应功能(图1)。该算法使得加速器能够辨别单/双击和叩击发生在哪里。除了I2C接口以外，KCTF9的特性还包括用户可编程输出数据速度、按用户定义采样速率执行的A/D转换、可选8位或12位分辨率、用户可选加速度范围(2g、4g和8g)和截止频率用户可选的数字高通滤波器。

　　其实，目前手机等便携产品上最亮眼的MEMS应用是微型投影机。Microvision市场销售副总裁Ian Brown在峰会上演示了名为SHOW的微型(7×20×40 mm)投影产品，可以投影出对角线12英寸至100英寸的画面，画面的分辨率达到WVGA (848×480)， 支持200%的NTSC色彩。让Ian颇为自豪的是，和TI的DLP或者LCoS相比，PicoP显示引擎的动态范围更高，达到10000:1。 Microvision把其中的核心技术称为PicoP显示引擎，其中最关键的器件就是双向MEMS扫描镜，它联接到两个小的弯曲(flexure)，通过纵向和水平震荡进行逐个像素的捕捉(成像)或者复制(显示)图像(图2)。