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基础知识之薄膜压电MEMS

• 压电表示压电元件（Piezoelectric　Element、Piezoelectric Device），压电元件是指通过施加力（压力）产生电压（压电效应），或与之相反，通过施加电压产生变形（逆压电效应）的元件。压电元件使用具有压电效应的压电材料。施力时，（+）正离子、（-）负离子的位置会移动，产生（+）和（-）电荷的偏移（电极化），从而产生电压。利用压电效应的主要用途是传感器，利用逆压电效应的主要用途是执行机构。压电材料的种类压电材料大致分为单晶、陶瓷、薄膜等。罗姆采用的是使用锆钛酸铅（PZT）的薄膜压
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