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美泰电子RF MEMS 器件

发布人:传感器技术 时间:2023-03-26 来源:工程师 发布文章

美泰电子科技有限公司

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美泰电子科技有限公司是中国MEMS行业协会理事长单位。专门致力于MEMS(微电子机械系统)器件与系统的研发、生产和销售。是国内最大的MEMS高端核心芯片、器件和系统产品供应商,中国MEMS技术领导者。主要产品有MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、MEMS压力传感器芯片、汽车MEMS传感器、射频(RF)MEMS器件、光MEMS器件等。      
    

公司拥有国际先进水平的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备,是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位。


RF MEMS 器件

全球首家推出采用高精度微纳立体加工、硅圆片直接键合、TSV(硅通孔)等MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片,拥有超小体积与重量、多层全屏蔽、抗干扰卓越的微波性能,低损耗、高抑制、为微波毫米波系统小型化提供了新选择。产品频率范围覆盖2~50GHz,具有带通、带阻、窄带、宽带、超宽带多个系列。广泛应用于雷达、微波通讯、电子系统等领域。


1、MEMS 环行器

 

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特点

硅腔体结构,体积超小
高功率容量

50Ω微带共面波导输出,键合使用

频率:12~40GHz
MEMS工艺,精度高,一致性好
可按要求加工定制
 

环境参数

工作温度:-55~+85°C

储存温度:-55~+125°C


典型应用

雷达、航天航空、微波通信


2、MEMS 隔离器

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特点:

硅腔体结构,体积超小
高功率容量

50Ω微带/共面波导输出,键合使用
频率:12~40GHz

MEMS工艺,精度高,一致性好
可按要求加工定制


环境参数
工作温度:-55+85°C

储存温度:-55+125°C

典型应用
雷达、航天航空,微波通信 


3、MEMS 硅腔滤波器

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特点:
硅基MEMS工艺,体积小、重量轻

频率:2~50GHz

高性能、全屏廠、抗干扰、微波性能好

裸芯片,50Ω共面波导输出,键合使用

带通、带阻、低通、高通
指标一致性好,适合批产


环境参数
工作温度:-55~+85°C
贮存温度:-55~+125°C

平均功率:≤3W(连续波)


典型应用
雷达、航天航空,电子系统


4、微集成 LC 滤波器

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特点:

硅基MEMS微纳米技术
命体积小、成本低
加厚介质膜工艺,防静电能力强、可靠性高

可键合、表贴使用,满足用户不同安装要求
加工周期短,部分取代LTCC产品
较MMIC产品有更高Q值 


环境参数
工作温度:-55~+85°C
贮存温度:-55~+125°C
平均功率:1Wmax@25°C
 
电性能规范
中心频率:0.5-20GHz
健合型微集成LC法
1db分数带宽:10-100%
VSWR: 16.1 :1
特性阻抗:50Ω


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美泰电子科技有限公司

地      址:石家庄市昌盛大街21号B10楼

电话:0311-83933866、3867

传真:0311-83933867

邮箱:jl.dong@mtmems.com

网站:www.mtmems.com


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关键词: MEMS

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