小流量，大助力，推进芯片发展

微电子学是全球通信的骨干中枢神经系统。未来，国家和公司的竞争能力将越来越取决于如何推动数字化转型。芯片的发展速度直接影响了数字化进程的脚步。

从技术角度来看，

经济和社会的中枢神经系统离不开芯片

从芯片主要应用领域的变化趋势中可以看到，以前芯片的主要应用领域是计算机、机器控制系统和各种类型的传感器系统。随时代发展，现在对芯片需求量日益增加，其中通信技术已经超过了计算机，成为最大的使用领域，占比超过三分之一。

新冠病毒大流行阶段并未抑制芯片行业的发展，反而凸显了各种电子和虚拟通信基础设施存在的弱点，间接加快了数字化的需求及相关投资。ChatGPT热潮，更是将人工智能推向舆论中央。

我们每个人都是芯片的最终消费者。

日常生活都需要半导体产品，同样也离不开芯片，例如日常使用的LED灯泡、数码相机、健身手环等。不知不觉间，芯片已经渗透到我们生活的每个角落，无处不在。

能源转型推动半导体向高质量发展

在这个能源转型、智能设备普及、电动汽车发展日新月异的时代，芯片等半导体产品的需求量日益增加。光伏系统和储能系统需要高性能的专用芯片，高透明度和精确的规划是加工定制类芯片的先决条件之一，需要定制的阀门和系统解决方案来制造它们。

盖米集团是知名的阀门、测量及控制系统制造生产商，总部位于德国，全球共设有27家独资子公司，分支机构和商务伙伴遍布50多个国家。

在功率芯片和MEMS等产品领域，欧洲公司是市场领导者之一，并且其在建设新工厂以提高产能。它们在生产中需要盖米解决方案。盖米设计的VMB多通道被设计师、最终用户和工厂工程师高度认可并投产使用。介质借助盖米多通道进行分配。它们代表了一般的中央供应系统和实际生产部门中的加工设备之间的连接。

多通道的基础组成原理基本相同：

►通过入口输送介质

► 引导介质通过主管路，分配到各个支管路

► 支管路介质进入工艺段

► 集成背压控制系统可选，以确保回路有足够的介质供应

► 在进行维护时，多通道可彻底排空

多通道的主要优点如下：

• 一站式解决方案，可在工厂快速轻松安装

• 配备高Kv的阀门类型

• 多通道设计，空间要求低/连接点数量少

• 系统中滞留的介质减少到可测范围内，流量得到优化，排空得到改善

• 减少连接点数，降低泄漏风险

• 增强了整个系统的性能并减少了介质损耗

工厂生产中错误的规划将导致材料污染、产线停工及不必要的调试等，降低产线效率，产生额外成本。盖米制造的组合阀经过精准测试，具备高效防漏装置。

盖米阀门助力芯片制造

为满足使用超纯水和化学品的严苛要求，在半导体制造行业中阀门、测量及控制系统拥有着广泛的应用，例如超纯硅生产和晶片生产、湿法涂层工艺、超纯水处理厂的化学品清洗流程、化学品供应及湿法制程。

自1988年起，盖米就已经具有可应用于微电子半导体行业的超纯阀门产品，并且在测量和控制系统方面的娴熟经验。盖米早早意识到了洁净室条件对生产超纯阀门的重要性，从而加大了投资。2012年9月，位于瑞士Emmen的盖米洁净室正式投产。盖米的超纯阀门产品，全部都是在瑞士洁净室工厂以前沿技术和工艺进行制造、喷射、清洁、装配、检测和包装，在半导体市场上拥有较强的竞争力。

盖米也与一家技术领先的设备工程公司展开合作，打造了EUV光掩膜清洗系统。EUV光掩膜盒在清洗时，通过升高系统内部温度加快清洗过程。而此时，控制设备电源的温度及热去离子水的供给和混合已然成为了技术难点。

下图展示了盖米与合作伙伴的研发成果，通过2套带有步进电机执行机构的盖米C53电动控制阀与PLC及温度传感器紧密合作，实现了温水流量的精准控制，进而能够清洁高度敏感且昂贵的EUV光掩膜传输盒。该执行器具有以下主要优点：

• 两个执行器并行控制，以实现尽可能快地达到所需的混合比，并在有波动的状态下尽可能保持稳定供应

• 装置中的“热DI”温度约为70-90°C

• 阀组使混合液保持温度稳定，例如固定在63℃

• 集成止回阀可防止DI回流以防止两条供应管线混合

• PLC、温度传感器和控制阀对精确的温度控制器结果起决定性作用

盖米集成的解决方案将日渐普及，并带来诸多优点，如资源节约型材料的选用、更完善的功能、较长的使用寿命以及长期的成本效益。因此，最终用户、微芯片、MEMS、LED、触摸面板和平板屏幕制造商都将倾向并受益于业内合作所打造的集成解决方案。

万物互联的智能世界得益于通信技术的发展，而通信技术的发展源于半导体技术的不断革新。共筑便利、互联的世界是社会发展共同的愿景，更是大众对生活的追求。德国盖米集团作为知名的阀门、测量及控制系统制造生产企业，将不断助力半导体行业发展，共同推进全球数字化进行。