国产化需求正在拉动国内半导体设备行业

来源：本文由半导体产业纵横（ID:ICVIEWS）综合

日本的出口限制，是国产半导体设备的机遇。

尽管半导体景气度从2022年下半年显著回落，半导体设备是少数逆势高速增长的细分行业。作为A股半导体设备龙头，北方华创高管在5月31日举办的2022年度业绩说明会上表示公司目前在手订单充足，并预测受国产替代需求拉动，今年国内半导体设备行业仍有望持续增长。

2022年，北方华创实现营业收入147亿元，同比增长约五成，净利润约24亿元，同比增长1.18倍；今年一季度公司实现净利润近6亿元，同比增长1.86倍。

“目前公司在手订单充足，2023年1-5月新增订单相较去年同期增长超过30%，其中以集成电路设备订单为主。”北方华创高管表示。

北方华创在半导体设备领域业务覆盖刻蚀装备、薄膜装备、立式炉装备、外延装备、清洗装备、卧式炉管设备等，去年电子工艺装备部分业务实现营业收入同比增长约五成。

在刻蚀设备领域，北方华创高管介绍，面向12英寸逻辑、存储、功率、先进封装等客户，已完成数百道工艺的量产验证，其中，ICP刻蚀产品出货累计超过2000腔，8英寸CCP刻蚀设备已批量供应市场，12英寸CCP刻蚀设备已进入客户端验证。另外，公司用于存储器件的高深宽比刻蚀机已完成研发，进入工艺测试阶段，各项技术指标已基本满足客户要求。

对于刻蚀设备优势，北方华创介绍，公司自2001年开始研发ICP刻蚀设备，2005年第一台设备进入大生产线量产，目前已有超过2000腔产品在数十家客户端实现量产应用，在数百道制程上成为客户的基线设备。

北方华创不是唯一一家在一季度实现增长的半导体设备公司，受益于国内半导体下游行业设备需求的不断增加。

盛美上海2023年一季度营业收入6.16亿元，同比增长74.09％；归属于上市公司股东的净利润1.31亿元，上年同期盈利431.12万元，同比增长2937.19％。

拓荆科技一季度实现营收4.02亿元，同比增长274.24％；归属于上市公司股东的净利润5371.8万元，扭亏为盈。

华海清科今年一季度营业收入6.16亿元，同比增长76.87％，扣非归母净利润1.67亿元，同比增长114.46％。

芯源微同样披露了良好的一季报，期内营收2.88亿元，同比增长56.89％，归母净利6597.74万元，同比增长103.55％。

5月23日，日本宣布把尖端半导体制造设备等23个品类列入出口管理限制对象名单，本次措施主要是增加了6大类23种管制物项，对华出口需申请许可。

在清单内的受管制物品在向中国大陆、俄罗斯等地区出口时，需要获得日本经济产业省的许可证。清单主要针对高端半导体制造设备，尤其是特别聚焦了ArF浸没式光刻、EUV配套设备及部件、钴/钨等金属沉积、高深宽比刻蚀和硅锗刻蚀等技术指标较高、材料特殊、在先进制程有针对性应用的半导体设备品种，而光刻胶等日本优势的半导体材料则未在限制行列之中。

中信证券研报认为，中国大陆为日本主要半导体设备厂商的重要收入来源地区之一，出口限制主要针对先进芯片制造，符合预期，否则若全面限制、日本半导体相关产业也会有较大冲击。在这样的背景下，半导体设备以及零部件领域国产化进展备受关注。

广发证券整理了2022年国内晶圆厂的公开招标项目，以及相关半导体设备厂商的中标情况。2022 年，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为 26%。中标方面，2022 年，统计样本中的晶圆产线合计中标 1040 台设备，以量测、沉积类、热处理设备居多；国产设备整体中标比例约30%，其中，硅片再生、气液系统、去胶、湿法腐蚀、PVD 设备的国产中标比例较高。

2022 年，国内半导体设备厂商合计中标 231 台设备，北方华创、创微微电子、中微公司、万业企业中标量领先，分别中标 64 台、28 台、22 台、21 台设备。

从这样的数据来看，国内半导体设备厂商已经有所成果，但仍有增长空间。根据SEMI（国际半导体产业协会）数据，2022年中国晶圆厂商半导体设备国产化率较2021年明显提升，从21%提升至35%；国内半导体设备公在去胶、清洗、热处理、刻蚀及CMP领域内国产替代率较高，均高于30%，但在光刻机、离子注入机等领域国产化率合计不足5%。

半导体行业自2022年下半年进入下行周期，半导体制造商纷纷宣布削减2023年资本开支；对于国产半导体设备增长趋势，北方华创高管表示看好，预计受国产替代需求拉动，今年国内半导体设备行业仍有望持续增长。