工研院发展出ITO替代技术 成本便宜一百倍

在今年的Touch Taiwan触控展中，工研院展示了多项与触控相关的先进技术，包括由工研院量测中心开发、获得微软认证通过的「Windows 8触控面板手动测试工具」、凌空触控键盘（Air Touch Key-Pad）及甫获得2012全球百大科技(R&D 100)金奖技术的「低温大气压电浆镀膜技术」。

这里要特别介绍由工研院机械所主导开发的「低温大气压电浆镀膜技术」，因为它是相当具有产业革命影响力的一项技术。工研院机械所先进制造核心技术组电浆应用技术部张加强经理指出，此技术让氧化锌（ZnO）突破环保议题，成为ITO的最佳替代技术。

此一低温（

< 150℃)环保大气压电浆镀膜技术，成功突破当前光电产业中关键的金属氧化物材料（metal-oxide）镀膜难以兼顾的环保及成本的瓶颈，在大气环境下只需使用空气与含金属离子的水溶液，就可在数分钟内完成透明导电薄膜(TCO)镀膜。

今日主流的ITO透明导电膜，采用的铟材料因稀少而昂贵，又受控于中国，然而包括面板、触控面板、太阳能都需用到透明导电膜，因此，发展ITO替代材料是目前市场极热门的议题。张加强表示，锌和铟的材料成本，相差了将近一百倍，过去受限于环保议题及制程技术而无法成为商用化的透明导电材料，如今这个技术突破了这个瓶颈，这对台湾比重极大的面板、触控面板、太阳能等产业来说，都是很好的消息。

目前工研院的这项技术在材料、制程及检测验证上都已相当成熟，而且在挑战大面积镀膜的应用（G5 Size, 1100 x1400 mm glass substrate）上，也很成功。张加强相信此一设备技术能大幅提升台湾厂商的差异化条件，但由于台湾厂商普遍有一种外国月亮比较圆的心态，不愿直接采用台制的设备或技术，所以工研院的策略是将此技术先提供给国外厂商先使用，未来再从国外打回台湾。

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