新闻中心

EEPW首页 > 业界动态 > 5nm工艺起飞 ASML宣布全新半导体技术:产能大涨600%

5nm工艺起飞 ASML宣布全新半导体技术:产能大涨600%

作者:时间:2020-06-01来源:快科技收藏

提到荷兰公司,大家都知道他们是全球唯一的EUV光刻机供应商,7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。不过不只是光刻机厉害,今天他们宣布了另外一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,适用于及更先进工艺,使得大涨600%。

本文引用地址:http://www.amcfsurvey.com/article/202006/413750.htm

随着制程工艺不断提升,晶圆的制造也越来越复杂,这也会导致晶圆中的错误更多,HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的检测系统,内部也有复杂的光电子系统,能够产生、控制多个电子束,然后根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量,并有高速运行的平台以控制测试的晶圆数量,还要有计算系统处理电子束的数据。

简单来说,研发的这个HMI eScan1000机器就是一台验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统,工艺越先进,检测系统就越重要,它的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。

ASML的HMI eScan1000的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束,所以提升了600%,可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。

目前HMI eScan1000可以用于及以下先进工艺的晶圆测试,已经交付给客户进行测试验证,未来ASML还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。



关键词: 5nm ASML 产能

评论


相关推荐

技术专区

关闭