台积电曝EUV主要机台没受损 美媒示警：强震后面临考验

昨日花莲发生规模7.2地震，外媒高度关注是否对中国台湾护国神山台积电造成影响，台积电表示，部分厂区的少数设备受损，但所有极紫外（EUV）光刻设备等主要机台皆无受损。《华尔街日报》撰文指出，台积电坐落在世界上最大地震热点之一的中国台湾，在昨日强震后将受到考验。

报导指出，在此次地震中台积电是幸运的，因为其主要设施地点位在北、中、南部，与东部的震央距离相对较远，这次台积电新竹、龙潭和竹南等科学园区的最大震度为5级 ，台中和台南科学园区的最大震度4级。

虽然台积电工厂建筑物完好无损，但用于制造半导体的设备和材料非常精密，也可能出现不太明显的损坏。报导提到，硅芯片约为1个披萨大小的薄片，只要有一点点小缺陷，就可能无法使用被丢弃。

此外，即使半导体工厂短暂停工，但也可能对生产造成很大影响，而且重新启动需要时间，有可能造成高达千万美元的损失。

台积电则在官网上注明，从民国88年历经921地震以来，即采用超越法规的标准做好防震管理措施，不仅在震后全面检视所有厂房与设施，陆续装设阻尼器补强厂房结构，同时更积极采用新的设备减震与隔震技术，以降低地震可能对营运带来的风险。

工商时报报导，台积电昨日晚间发表声明，在3日地震发生后仅10小时内，晶圆厂设备的复原率已超过70％，新建的晶圆厂（如晶圆十八厂）的复原率更已超过80％。台积电强调，虽然部分厂区的少数设备受损并影响部分产线生产，主要机台包含所有极紫外（EUV）光刻设备皆无受损。