半导体制程简史

　　当线宽远高于10微米时，纯净度还不像今天的器件生产中那样至关紧要。旦随着器件变得越来越集成， 超净间也变得越来越干净。今天，工厂内是加压过滤空气，来去除哪怕那些可能留在芯片上并形成缺陷的最小的粒子。半导体制造车间里的工人被要求着超净服来保护器件不被人类污染。

　　在利润增长的推动下，在1960年代半导体器件生产遍及得克萨斯州和加州乃至全世界，比如爱尔兰、以色列、日本、台湾、韩国、新加坡和中国，且在今天已是一个全球商业。

　　半导体生产商的领袖大都在全世界拥有生产车间。英特尔，世界最大的生产商，以及在美其他顶级生产商包括三星(韩国)、德州仪器(美国)、AMD(超微半导体)(美国)、东芝(日本)、NEC电子(日本)、意法半导体(欧洲)、英飞凌(欧洲)、瑞萨(日本)、台积电(台湾，参见TSMC网站)、索尼(日本)，以及恩智浦半导体(欧洲)在欧洲和亚洲都有自己的设备。

　　在2006年，在美国有大约5000家半导体和电子零件生产商，营业额达1650亿美元(摘自Barnes报告《2006美国工业和市场展望》)。

　　以下为各半导体工艺节点出现时间和主要代表产品

　　ITRS : International Technology Roadmap for Semiconductors(国际半导体技术蓝图)

　　ITRS是由欧洲、日本、韩国、台湾、美国五个主要的芯片制造地区发起的。发起组织分别是European Semiconductor IndustryAssociation(ESIA，欧洲半导体工业协会)，the Japan Electronics and InformationTechnology Industries Association (JEITA，日本电子与信息技术工业协会)， the KoreanSemiconductor Industry Association (KSIA，韩国半导体工业协会)， the TaiwanSemiconductor Industry Association (TSIA，台湾半导体工业协会)， and the UnitedStates Semiconductor Industry Association(SIA，美国半导体工业联盟)。ITRS的目的是确保集成电路(IC)和使用IC的产品在成本效益基础上的性能改进，从而持续半导体产业的健康和成功。

　　ITRS工艺节点和半节点