三菱电机和Coherent宣布合作，瞄准8英寸SiC衬底

近日，美国激光技术与加工系统供应商Coherent和三菱电机宣布，双方已签署一份谅解备忘录 （MOU）并达成项目合作，将在200毫米技术平台上扩大SiC电力电子产品的规模化生产。

三菱电机宣布在截至2026年3月的五年内投资约2600亿日元。其中，大约1000亿日元将用于建设基于200mm技术平台的SiC功率器件新工厂，并加强相关生产设备。

根据谅解备忘录，Coherent将为三菱电机未来在新工厂生产的SiC功率器件开发200毫米n型4H SiC衬底。

资料显示，Coherent于1966年成立于美国加利福尼亚州，是面向工业、通信、电子和仪器应用市场激光器和激光技术的全球提供商，其激光设备、组件和服务可用于多个行业领域。去年被I-VI合并后，Coherent重新划分为激光、材料和网络三大业务部门。

此前5月，Coherent公布2023财年Q3最新财报数据，Coherent材料（主要是SiC晶圆和器件）业务部门的销售额为3.24亿美元，占比26.13%。

Coherent在SiC材料开发方面拥有数十年的经验。2015年，该公司（合并前的II-VI）展示了世界上第一个200毫米导电基板，并获得了通用电气（GE）的SiC技术许可。2019 年，Coherent开始根据REACTION计划供应200 mm SiC基板。

据悉，REACTION计划是一项由欧盟委员会资助的Horizon 2020四年计划，其目标是在欧洲建立世界上一个基于SiC的200毫米电力电子试点生产设施。

当前，全球电动汽车市场正在不断扩大，是推动SiC功率器件指数增长的几个新兴应用之一。与基于硅的功率器件相比，SiC功率器件的能量损耗更低，可运行温度更高，开关速度也更高。

SiC功率器件凭借高电压、大电流、高温、高频率、低损耗等独特优势，在新能源汽车、5G通讯、轨道交通、智能电网等领域大放光彩，并已经成为市场新的增长方向。

此前据TrendForce集邦咨询预测，2023年整体SiC功率元件市场规模达22.8亿美元，年成长41.4%。与此同时，受惠于下游应用市场的强劲需求，预期至2026年SiC功率元件市场规模可望达53.3亿美元。